2023年2月,人工智能学院硬件教研室,校智慧医疗科研创新团队在《IEEE Sensors Journal》发表题为 “An Improved Static Membrane Deflection Analysis for Collapse Mode CMUT Fabricated by Sacrificial Release Method” 的文章。王久江博士为本文第一作者,余远昱博士为本文通讯作者。
电容性微机械加工超声换能器(CMUT))是一种采用MEMS方式制造的超声传感器,可以广泛应用于智能手机、汽车、无人机、机器人、智能家居、医疗器械等领域。
该文章利用材料力学的知识,创新性地结合了衬底对振动膜的支撑力以及支撑壁受力形变的因素,将这两个因素的影响,合理地加入到了CMUT振动薄膜的控制方程中,从而可以更加准确地采用解析解的方法对CMUT进行仿真。项目组成员也成功地制造出了一些CMUT器件,并用自己制造的器件,对解析解模型进行了验证。
Normal 0 7.8 磅 0 2 false false false EN-US ZH-CN X-NONE 本文获得了四川省科技厅项目,校科研创新团队项目支持。
《IEEE Sensors Journal》于2001创刊,是传感器工程和技术领域的权威期刊,征稿涉及信号处理与分析、通信、网络与广播技术、元件、电路、器件与系统以及机器人与控制系统等和传感器技术密切相关的主题。《IEEE Sensors Journal》的2022年影响因子为4.325,JCR分区Q1,属于中科院Top期刊。
文/旷江明 初审:何文孝 二审:于永彦 终审:唐年庆